Hauptspezifikation: 1. Beschleunigungsspannung: 1-15kV, stufenlos einstellbar. 2. Elektronenkanonentyp: Schottky-Feldemissionskanone (FEG), hochintegrierte zweistufige Kanonenlinse, keine manuelle Einstellung der Blende der Objektivlinse erforderlich. 3. Vergrößerung ≥1000000X; 4. Auflösung:≤2,5nm@15KV 5. Detektor: Sekundärelektronen-Detektor (SE), Quadrupol-Rückstreu-Detektor (BSE), 6. Tisch: 2-Achsen XY motorisierter Tisch, Bewegung 60x55mm; 7. Maximale Probengröße: 100*78*68,5mm, während sich die XY-Achsen frei bewegen 8. Probenwechsel und Hochvakuumpumpzeit≤ 180s. 9. Hochvakuumsystem: mechanische Pumpe, Turbomolekularpumpe, Ionenpumpe x2, das Vakuum in der Probenkammer ≥4x10-2Pa, vollautomatische Steuerung; 10. Videomodus ≥512x512 Pixel, keine Notwendigkeit für kleines Fenster-Scannen. 11. Schnellscan-Modus: Bildgebungszeit≤3s, 512x512 Pixel. 12. Langsamscan-Modus: Bildgebungszeit≤40s, 2048x2048 Pixel. 13. Bilddatei: BMP, TIFF, JPEG, PNG. 14. Ein-Knopf-Automatik zur Anpassung von Helligkeit und Kontrast, Autofokus, große Bildstitching 15. Navigationsfunktion: optische Kameranavigation und Kabinenkamera. 16. Bildmessfunktion: Entfernung, Winkel usw. 17. Einschließlich Computer & Software, Maussteuerung. 18. Optional: --Wolframdraht (20 Stück/Box) --EDS --3-Achsen-Motorisierter Tisch XYZ --3-Achsen-Motorisierter Tisch XYT --5-Achsen-Motorisierter Tisch XYZRT --Niedrigvakuum (1-60Pa) --In-Situ-Tisch vom Originalwerk, Heizen, Kühlen, Strecken usw. --Verzögerungsmodus, 1-10KV, kann nichtleitende oder schlecht leitende Proben ohne Goldspray beobachten, nur für den BSE-Modus --Stoßdämpfende Plattform (empfohlen für A63.7005) 19. Mikroskopgröße 650*370*642mm, mechanische Pumpengröße 340*160*140mm |
Modell | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
Auflösung | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2,5nm@15KV |
Vergrößerung | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
Elektronenkanone | Wolfram | Wolfram | Wolfram | LaB6 | Schotty FEG |
Spannung | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
Detektor | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
Navigation CCD | CCD | CCD | CCD+Kabinenkamera | CCD+Kabinenkamera | CCD+Kabinenkamera |
Vakuumzeit | 90s | 90s | 30s | 90s | 180s |
Vakuumsystem | Mechanische Pumpe Molekularpumpe |
Mechanische Pumpe Molekularpumpe |
Mechanische Pumpe Molekularpumpe |
Mechanische Pumpe Molekularpumpe Ionenpumpe |
Mechanische Pumpe Molekularpumpe Ionenpumpe x2 |
Vakuum | Hochvakuum 1x10-1Pa |
Hochvakuum 1x10-1Pa |
Hochvakuum 1x10-1Pa |
Hochvakuum 5x10-4Pa |
Hochvakuum 5x10-4Pa |
Tisch | XY-Tisch, 40x30/40x40mm |
XY-Tisch, 40x30/40x40mm |
XY-Tisch, 60x55mm |
XY-Tisch, 60x55mm |
XY-Tisch, 60x55mm |
Tischpräzision | - | Position Präzise 5um | |||
Arbeitsabstand | 5-35mm | 5-35mm | 5-73,4mm | 5-73,4mm | 5-73,4mm |
Max. Probe | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68,5mm | 100x78x68,5mm | 100x78x68,5mm |
Optional | Wolframdraht 20 Stück/Box | Lab6-Filament | Feldemissionslampe | ||
EDS Oxford AZtecOne mit XploreCompact 30 | |||||
- | Niedrigvakuum 1-100Pa | Niedrigvakuum 1-30Pa | |||
- | Z-Achsen-Modul | 3-Achsen-Tisch, X 60mm, Y 50mm, Z 25mm | |||
- | T-Achsen-Modul | 3-Achsen-Tisch, X 60mm, Y 50mm, T ±20° | |||
- | - | 5-Achsen-Tisch, X 90mm, Y 50mm, Z 25mm, T ±20°, R 360° | |||
- | - | Stoßdämpfende Plattform, Für 3-Achsen-, 5-Achsen-Tisch | |||
- | Verzögerungsmodus 1-10KV zum Betrachten von nichtleitenden Proben, nur für BSE | ||||
- | In-Situ-Tisch vom Originalwerk, Heizen, Kühlen, Strecken usw. | ||||
USV |
▶ AZtecOne mit XploreCompact 30 für TTM
Systemkonventionelle EDS-Analyse Das System bietet eine qualitative und quantitative Analyse verschiedener Materialien und analysiert Elemente von B(5) bis cf (98). Zusätzlich zu einzelnen Punktscans der Probenoberfläche sind leistungsstarke Linienscans und Elementarspektralscans verfügbar. In Kombination mit einem kundenspezifischen Detektor können Analyse und Berichterstellung in Sekundenschnelle erfolgen. |
Effektive Kristallfläche | 30mm2 | Auflösung (eines Fotos) | Mn Ka <129eV @50.000cps |
Elementarer Erfassungsbereich | B (5) bis cf (98) | Maximale Eingangsrate | >1.000.000 cps |