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▶A64.5401 kennzeichnet 1) Die Maß- und Analyse-Software mit integrierter Operation braucht nicht, die Schnittstelle für Operation zu schalten, und die Konfigurationsparameter werden im Voraus vor Maß eingestellt. Die Software zählt automatisch die Maßdaten und liefert die Datenberichts-Exportfunktion, die die Reihenmaßfunktion schnell verwirklichen kann. 2) Stellen Sie automatische Multibereichsmaßfunktion, Reihenmaß, automatischen Fokus, automatische Helligkeitsanpassung und andere automatische Funktionen zur Verfügung. 3) Provide nähende Maßfunktion. 4) Stellen Sie Datenbearbeitungsfunktionen der vier Module der Positionsbereinigung, der Korrektur, der Entstörung und der Extraktion zur Verfügung. Positionsbereinigung umfasst Funktionen wie planierendes und widerspiegelndes Bild; Korrektur umfasst Funktionen wie räumliche Entstörung, Überarbeiten und Höchstdenoising; die Entstörung schließt Funktionen wie Formabbau ein, filternder Standard und Spektralentstörung; Extraktion umfasst Funktionen wie Extrahierung von Regionen und Extrahierung von Profilen. 5) Stellen Sie fünf bedeutende Analysefunktionen einschließlich geometrische Profilanalyse, Rauheitsanalyse, Strukturanalyse, Fourier-Analyse und Funktionsanalyse zur Verfügung. Unter ihnen umfasst die geometrische Profilanalyse Eigenschaften wie Schritthöhe, Abstand, Winkel, Biegung und andere Funktionen und Gradlinigkeit, Rundungstoleranzbewertung und andere Funktionen; Rauheitsanalyse umfasst Linie Rauheit entsprechend internationalen Standards ISO4287, ISO25178 Oberflächenrauigkeit, ISO12781, das Grad und andere Vollparameteranalysefunktionen planiert; strukturelle Analyse umfasst Porenvolumen und Abflussrinnentiefe, etc.; Fourier-Analyse umfasst Funktionen wie Beschaffenheitsrichtung und -Spektralanalyse; Systemanalyse umfasst Funktionen wie SK-Parameter und Volumenparameter. 6) Stellen Sie zusätzliche Analysefunktionen wie Einschlüsselanalyse zur verfügung und die Multidatenanalyse, gesetzte Analyseschablonen, kombiniert mit den automatischen Maß- und Reihenmaßfunktionen, die im Maß bereitgestellt werden, kann es das Reihenmaß von kleinen Präzisionsgeräten verwirklichen und die Analysedaten direkt erhalten. |
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Confocal Mikroskop ist ein Prüfungsinstrument, das für Nanometermaß von verschiedenen Präzisionsgeräten und -materialien benutzt wird. Es basiert auf dem Prinzip der confocal Technologie, kombiniert mit poröser Parallelabtastungstechnologie der Scheibe, genauem Z-Richtungsscannenmodul, 3D, das Algorithmus modellieren, etc., um berührungsfreies Scannen auf der Oberfläche des Gerätes durchzuführen und ein Oberflächen-Bild 3D herzustellen. Das Bild 3D der Gerätoberfläche wird durch die Systemsoftware durchgeführt. Datenverarbeitung und Analyse, und erhalten Sie 2D und Parameter 3D die Oberflächenbeschaffenheit des Gerätes reflektierend, um das optische Inspektionsinstrument für Maß 3D der Oberflächentopographie des Gerätes zu verwirklichen. |
| Confocal technische Spezifikations-Blatt des Mikroskop-A64.5401 | ||
| Messendes Prinzip | Confocal optisches System | |
| Mikroskopobjektiv | 10× (Standard), 20×, 50×, 100× (optional) | |
| Blickfeld | 160×160 μm~1.6×1.6 Millimeter | |
| Überprüfungsrahmen rate*1 | ≥10HZ | |
| Höhenmessung | Repeatability*2 | 20×: 40nm; 50×: 20nm; 100×: 20nm |
| Accuracy*2 | ± (0.2+L/100) μm | |
| Anzeigenentschließung | 0.5nm | |
| Breitenmaß | repeatability*3 | 20×: 100nm; 50×: 50nm; 100×: 30nm |
| Accuracy*3 | ± 2% | |
| Anzeigenentschließung | 1nm | |
| X-Yverschiebungsplattform | Größe | 210×210 Millimeter |
| Bewegenstrecke | 100×100 Millimeter | |
| Last | 10kg | |
| Steuermethode | elektrisch | |
| Z-Richtungsbewegungsstrecke | 100 Millimeter | |
| Objektivturm | 5-hole motorisierte | |
| Beleuchtung | Lichtquelle | LED |
| Höchstleistung | 840mW | |
| Maße | 590×390×540mm | |
| Gesamtgewicht | 45kg | |
| Stromversorgung | AC220V/50Hz | |
| Arbeitsbereich | Temperatur 10℃~35℃, Temperaturgradient <1>℃ /15-Minuten, Feuchtigkeit 30~80%, Erschütterung <0> | |
| Mitteilung: *1 benutzen eine Linse 20x, um einen 4.7µm Standardschrittbeispielblock bei einer umgebenden Temperatur von 20±2°C. zu messen. *2 messen den 4.7µm Standardschrittbeispielblock bei einer umgebenden Temperatur von 20±2°C mit einer Linse von 20mal oder von mehr. *3 benutzen eine Linse von 20mal oder von mehr, die Standardfadenkreuzprobe bei einer umgebenden Temperatur von 20±2°C. zu messen. |
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| Objektivspezifikationen | Vorbildliche numerische Öffnung des Blickfeld-Arbeitsabstand-(W.D.) (N.A.) | |
| μm 10,6 Millimeter 0,25 10X 1600×1600 | ||
| μm 1,3 Millimeter 0,40 20X 800×800 | ||
| μm 0,38 Millimeter 0,75 50X 320×320 | ||
| μm 0,21 Millimeter 0,90 100X 160×160 | ||
| Produktkonfigurationsliste Standardkonfiguration: |
1) Hauptteil A64.5401 | |
| 2) X-Yverschiebungsstadium: automatisches Verschiebungsstadium | ||
| 3) Markencomputer | ||
| 4) Systemkalibrierungsmodul | ||
| 5) Steuerknüppel | ||
| 6) Confocal Mikroskop-Software | ||
| 7) Instrumentzusatzkasten | ||
| 8) Produkthandbuch | ||
| 9) Produktzertifikat, Garantiekarte | ||
| Optional | 1) Messendes Objektiv: 20×, 50×, 100× | |
| 2) Vakuumsaugtabelle (für Halbleiterwafer): 6 Zoll, 8 Zoll; | ||
| 3) Maß-Funktionsmodul des automatischen Maßes verstärkendes (erfordert Hardware-Unterstützung) | ||
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Führen Sie Oberflächentopographieeigenschaften wie Höhenlinien, Oberflächenfehler, Abnutzungszustände, Korrosionszustände, Flachheit, Rauheit, Welligkeit, Porenabstände, Schritthöhen, verbiegende Deformationen und Prozessbedingungen von verschiedenen Produkten, von Komponenten und von Materialien durch. Maß und Analyse. |
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▶4,1 hohe Präzision und hohe Wiederholbarkeit Das Maßsystem bestanden aus lärmarmen Darstellungs-Sensoren, leistungsstarke optische Komponenten und Kodierer und ausgezeichnete Algorithmen der Rekonstruktion 3D, das Maß sicherzustellen, das den Standards entspricht; jahrelang gewurzelt in der Maßindustrie, in der gleichen Linie des Industriedesigns und im Spitzenverarbeitungsniveau, einer hohen Stufe die Maßwiederholbarkeit sicherzustellen. |
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▶4,2 Hochgeschwindigkeitsparallelabtastung Die Mehrpunktparallelabtastung des Profils unter Verwendung der porösen Scheibe verbessert erheblich die Arbeits-Leistungsfähigkeit, die mit dem traditionellen Einzelüberprüfungsentwurf des Galvanometers verglichen wird, und das Scannen kann in nur einige Sekunden abgeschlossen werden. |
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▶4,3 starke Anpassungsfähigkeit Das Maßsystem hat hohen Dynamikwerte für verschiedene Beispielhaltungen, Oberflächenkomplexität und Oberflächenreflexionsvermögen.
▶4,4 integrierte Maß-und Analyse-Software 1) Das Maß und die Analyse werden auf der gleichen Schnittstelle, ohne Schaltung, die Maßdaten wird gezählt automatisch bearbeitet, und die Funktion des schnellen Reihenmaßes wird verwirklicht; 2) Das Sichtfenster ist bequem, damit Benutzer den Überprüfungsprozeß in der Realzeit beobachten; 3) Kombiniert mit der automatischen Maßfunktion der kundenspezifischen Analyseschablone, kann es den Multiregionsmaß- und -analyseprozeß automatisch abschließen; 4) Die fünf Funktionsmodule der geometrischen Analyse, der Rauheitsanalyse, der Strukturanalyse, der Fourier-Analyse und der Funktionsanalyse sind komplett; 5) Ein-Klickenanalyse, Multidatenanalyse, frei kombinierte Analyseeinzelteile werden als Analyseschablonen, Einklickenanalyse von Reihenproben gespart, und Datenanalyse und statistische Diagrammfunktionen werden zur Verfügung gestellt; 6) Mehr als 300 2D und Parameter 3D können entsprechend ISO/ASME/EUR/GBT und anderen Standards gemessen werden. |
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▶4,5 Präzisions-Steuerknüppel Der Steuerknüppel, der mit der Funktion der Verschiebungsanpassung in den drei Richtungen von X, von Y und von Z integriert wird, kann die Vormaßarbeit wie Stadiumsübersetzung und Z-Richtungsfokussierung schnell abschließen.
▶4,6 Antikollisionsentwurf Vermeiden Sie Schaden des Objektivs und des Gegenstandes, um am Zusammenstoß gemessenes zu liegen, der durch Misoperation verursacht wird.
▶4,7 völlig elektrisches Mikroskop Ausgerüstet mit einer Reihe elektrischen Teilen, arbeiten diese nah verbundenen elektrischen Teile zusammen, um Beobachtung schnell und einfach zu machen. |
Unsere Produkte werden auf der ganzen Welt verkauft. Sie können sich auf den gesamten Prozess unserer Produkte verlassen.
