Sondenrasterrasterkraftmikroskop

• Gantry-Scankopfdesign, Marmorsockel, Vakuumadsorptionsstufe, Probengröße und -gewicht sind grundsätzlich unbegrenzt
• Intelligentes Nadelzuführverfahren mit automatischer Erkennung von motorgesteuerten piezoelektrischen Keramiken zum Schutz von Sonden und Proben
• Automatische optische Positionierung, keine Notwendigkeit, den Fokus anzupassen, Echtzeitbeobachtung und Positionierung des Abtastbereichs der Sonde
• Ausgestattet mit geschlossener Metallabschirmung, pneumatisch stoßdämpfendem Tisch, starker Entstörungsfähigkeit;
• Integrierter Scanner-Editor für nichtlineare Korrektur, Nanometer-Charakterisierung und Messgenauigkeit ist besser als 98 %

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• ◆ Das erste kommerzielle Rasterkraftmikroskop in China, das die Probe stationär hält und die Sonde bewegt und scannt;

  ◆ Probengröße und -gewicht sind nahezu unbegrenzt, besonders geeignet für den Nachweis sehr großer Proben;

• ◆ Der Probentisch ist stark erweiterbar, was für die Kombination mehrerer Instrumente sehr praktisch ist, um eine In-situ-Detektion zu realisieren;

  ◆ Elektrische Steuerung des Probenbewegungstisches und des Hubtisches, die mit Mehrpunktposition programmiert werden können, um eine schnelle automatische Erkennung zu realisieren;

  ◆ Gantry-Scankopfdesign, Marmorsockel, Vakuumadsorption und magnetische Adsorptionsstufe;

• ◆ Der Motor steuert automatisch die intelligente Nadelvorschubmethode der automatischen piezoelektrischen Keramikerkennung, um die Sonde und die Probe zu schützen;

• ◆ Positionierung des optischen Hilfsmikroskops mit hoher Vergrößerung, Echtzeitbeobachtung und Positionierung des Sonden- und Probenscanbereichs;

• ◆ Integrierter Benutzereditor für die nichtlineare Korrektur des Scanners, Charakterisierung im Nanometerbereich und Messgenauigkeit besser als 98 %.

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• 	A62.4510	A62.4511
  Arbeitsmodus	Kontaktmodus Klopfmodus [Optional] Reibungsmodus Phasenmodus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus	Kontaktmodus Klopfmodus [Optional] Reibungsmodus Phasenmodus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus
  Aktuelle Spektrumskurve	RMS-Z-Kurve FZ-Kraftkurve	RMS-Z-Kurve FZ-Kraftkurve
  XY-Scanmodus	Sondengesteuertes Scannen, Piezo-Röhrenscanner	Probengesteuertes Scannen, piezoelektrischer Shift-Scanning-Tisch mit geschlossenem Regelkreis
  XY-Scanbereich	70×70um	Geschlossener Regelkreis 100×100um
  XY-Scanauflösung	0,2 nm	Geschlossener Regelkreis 0,5 nm
  Z Scan-Modus		Sondengesteuertes Scannen
  Z-Scanbereich	5um	5um
  Z Scan-Auflösung	0,05 nm	0,05 nm
  Scangeschwindigkeit	0,6Hz~30Hz	0,6Hz~30Hz
  Scan-Winkel	0~360°	0~360°
  Probengewicht	≤15Kg	≤0,5 kg
  Bühnengröße	Durchmesser 100 mm [Optional] Durchmesser 200 mm Durchmesser 300 mm	Durchmesser 100 mm [Optional] Durchmesser 200 mm Durchmesser 300 mm
  Bühne XY bewegt sich	100x100mm, Auflösung 1um [Optional] 200 x 200 mm 300 x 300 mm	100x100mm, Auflösung 1um [Optional] 200 x 200 mm 300 x 300 mm
  Stufe Z bewegt sich	15mm, Auflösung 10nm [Optional] 20mm 25mm	15mm, Auflösung 10nm [Optional] 20mm 25mm
  Stoßdämpfendes Design	Federaufhängung [Optional] Aktiver Stoßdämpfer	Federaufhängung [Optional] Aktiver Stoßdämpfer
  Optisches System	Ziel 5x 5.0M Digitalkamera [Optional] Ziel 10x Objektiv 20x	Ziel 5x 5.0M Digitalkamera [Optional] Ziel 10x Objektiv 20x
  Ausgabe	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0
  Software	Gewinne XP/7/8/10	Gewinne XP/7/8/10
  Hauptkörper	Gantry-Scankopf, Marmorsockel	Gantry-Scankopf, Marmorsockel

• Mikroskop	Optisches Mikroskop	Elektronenmikroskop	Rastersondenmikroskop
  Max. Auflösung (um)	0,18	0,00011	0,00008
  Anmerkung	Ölimmersion 1500x	Imaging von Diamant-Kohlenstoffatomen	Abbildung graphitischer Kohlenstoffatome höherer Ordnung

• Sonden-Proben-Wechselwirkung	Signal messen	Information
  Macht	Elektrostatische Kraft	Form
  Tunnelstrom	Aktuell	Form, Leitfähigkeit
  Magnetkraft	Phase	Magnetische Struktur
  Elektrostatische Kraft	Phase	Ladungsverteilung

• 	Auflösung	Arbeitsbedingung	Arbeitstemperatur	Beschädigung der Probe	Inspektionstiefe
  SPM	Atomebene 0,1 nm	Normal, Flüssigkeit, Vakuum	Raum- oder Niedrigtemperatur	Keiner	1~2 Atomebene
  TEM	Punkt 0,3 ~ 0,5 nm Gitter 0,1 ~ 0,2 nm	Hochvakuum	Raumtemperatur	Klein	Normalerweise <100nm
  SEM	6-10nm	Hochvakuum	Raumtemperatur	Klein	10mm @10x 1um @10000x
  FIM	Atomebene 0,1 nm	Super-Hochvakuum	30~80K	Schaden	Atomdicke

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