Forschungs-Niveau-Atomkraft-Mikroskop

• Forschungs-Niveau, kombinierter Prüfer u. Hauptteilentwurf, mit Kontakt-Modus, klopfender Modus, Ziel 10x.
• Präzisionslaser und Sondenpositioniervorrichtung, ist es einfach und bequem, die Sonde zu ersetzen und die Stelle zu justieren
• Hoch-Präzision und umfangreiche piezoelektrische keramische Scanner können entsprechend verschiedenen Genauigkeits- und Abtastbereichanforderungen vorgewählt werden
• Optische Positionierung von Objektiv 10X APO, kein Bedarf zu fokussieren, Realzeitbeobachtung und Positionierung des Sondenbeispielüberprüfungsbereichs;
• Die stoßsichere Methode der Frühlingssuspendierung ist einfach und praktisch und hat starke Entstörungsfähigkeit.

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• ◆Der Laser-Entdeckungskopf und das Beispielscannenstadium werden integriert, ist die Struktur sehr stabil, und das Entstörungs ist stark

• ◆Präzisionssondenpositioniervorrichtung, Laser-Stellenausrichtungsanpassung ist sehr einfach

  ◆Die Einzelachsen-Antriebsprobe nähert automatisch sich der Sonde vertikal, damit das Nadelspitzen zum Beispielscan senkrecht ist

  ◆Die Fütterungsmethode der intelligenten Nadel der Motor-kontrollierten unter Druck gesetzten piezoelektrischen keramischen automatischen Entdeckung schützt die Sonde und die Probe

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  ◆Hoch-Präzision und weit reichende piezoelektrische keramische Scanner können frei vorgewählt werden

   

  ◆automatische optische Positionierung des Objektivs der Hoch-linearen Wiedergabe, kein Bedarf, um zu fokussieren, Realzeitbeobachtung und Positionierung des Sondenbeispielüberprüfungsbereichs

• ◆Stoßsicherer Methoden-, einfacher und praktischer, guterstoßsicherer Effekt der Frühlingssuspendierung

  ◆Metall schirmte schalldichten Kasten, eingebaute Hochpräzisionstemperatur und Feuchtigkeitssensor, Echtzeitüberwachung des Arbeitsbereiches ab

• ◆Integrierter Korrekturbenutzerherausgeber des Scanners nichtlinearer, Nanometerkennzeichnung und Maßgenauigkeit besser als 98%

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• Spezifikation	A62.4500	A622.4501	A62.4503	A62.4505
  Arbeits-Modus	Klopfender Modus [Optional] Kontakt-Modus Reibungs-Modus Phasen-Modus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus	Kontakt-Modus Klopfender Modus [Optional] Reibungs-Modus Phasen-Modus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus	Kontakt-Modus Klopfender Modus [Optional] Reibungs-Modus Phasen-Modus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus	Kontakt-Modus Klopfender Modus [Optional] Reibungs-Modus Phasen-Modus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus
  Gegenwärtige Spektrum-Kurve	RMS-Z Kurve [Optional] F-Z Force Curve	RMS-Z Kurve F-Z Force Curve	RMS-Z Kurve F-Z Force Curve	RMS-Z Kurve F-Z Force Curve
  X-Yarbeitsbereich	20×20um	20×20um	50×50um	50×50um
  X-Yscan-Entschließung	0.2nm	0.2nm	0.2nm	0.2nm
  Z-Arbeitsbereich	2.5um	2.5um	5um	5um
  Y-Scan-Entschließung	0.05nm	0.05nm	0.05nm	0.05nm
  Scangeschwindigkeit	0.6Hz~30Hz	0.6Hz~30Hz	0.6Hz~30Hz	0.6Hz~30Hz
  Scan-Winkel	0~360°	0~360°	0~360°	0~360°
  Mustergröße	Φ≤90mm H≤20mm	Φ≤90mm H≤20mm	Φ≤90mm H≤20mm	Φ≤90mm H≤20mm
  X-Ystadiums-Bewegen	15×15mm	15×15mm	25×25um	25×25um
  Stoßdämpfender Entwurf	Frühlings-Suspendierung	Frühlings-Suspendierung Metall, das Kasten abschirmt	Frühlings-Suspendierung Metall, das Kasten abschirmt	-
  Optisches Syestem	Ziel 4x Entschließung 2.5um	Ziel 4x Entschließung 2.5um	Ziel 10x Entschließung 1um	Okular 10x Unendlichkeits-Plan LWD APO 5x10x20x50x 5.0M Digital Camera 10" LCD-Monitor, mit dem Messen Beleuchtung LED Kohler Grobe u. feine koaxialfokussierung
  Ertrag	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0
  Software	Gewinn XP/7/8/10	Gewinn XP/7/8/10	Gewinn XP/7/8/10	Gewinn XP/7/8/10

• Mikroskop	Optisches Mikroskop	Elektronenmikroskop	Überprüfungssonden-Mikroskop
  Max Resolution (um)	0,18	0,00011	0,00008
  Anmerkung	Ölkapselungs-1500x	Darstellungsdiamant-Kohlenstoffatome	Darstellungshöherwertig Graphitkohlenstoffatome

• Sonde-Proben-Interaktion	Maß-Signal	Informationen
  Kraft	Elektrostatische Kraft	Form
  Tunnel-Strom	Gegenwärtig	Form, Leitfähigkeit
  Magnetische Kraft	Phase	Magnetische Struktur
  Elektrostatische Kraft	Phase	Ladungsverteilung

• 	Entschließung	Arbeitsbedingung	Arbeits-Temperation	Zu probierendes Damge	Inspektions-Tiefe
  SPM	Atom Level 0.1nm	Normal, flüssig, Vakuum	Raum oder niedriges Temperation	Kein	1~2 Atom Level
  TEM	Punkt 0.3~0.5nm Gitter 0.1~0.2nm	Hochvakuum	Raum Temperation	Klein	Normalerweise <100nm>
  SEM	6-10nm	Hochvakuum	Raum Temperation	Klein	10mm @10x 1um @10000x
  FIM	Atom Level 0.1nm	Superhochvakuum	30~80K	Damge	Atom Thickness

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