Spezifikation |
A62.4500 |
A622.4501 |
A62.4503 |
A62.4505 |
Arbeits-Modus |
Klopfender Modus
[Optional] Kontakt-Modus Reibungs-Modus Phasen-Modus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus |
Kontakt-Modus Klopfender Modus
[Optional] Reibungs-Modus Phasen-Modus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus |
Kontakt-Modus Klopfender Modus
[Optional] Reibungs-Modus Phasen-Modus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus |
Kontakt-Modus Klopfender Modus
[Optional] Reibungs-Modus Phasen-Modus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus |
Gegenwärtige Spektrum-Kurve |
RMS-Z Kurve
[Optional] F-Z Force Curve |
RMS-Z Kurve F-Z Force Curve |
RMS-Z Kurve F-Z Force Curve |
RMS-Z Kurve F-Z Force Curve |
X-Yarbeitsbereich |
20×20um |
20×20um |
50×50um |
50×50um |
X-Yscan-Entschließung |
0.2nm |
0.2nm |
0.2nm |
0.2nm |
Z-Arbeitsbereich |
2.5um |
2.5um |
5um |
5um |
Y-Scan-Entschließung |
0.05nm |
0.05nm |
0.05nm |
0.05nm |
Scangeschwindigkeit |
0.6Hz~30Hz |
0.6Hz~30Hz |
0.6Hz~30Hz |
0.6Hz~30Hz |
Scan-Winkel |
0~360° |
0~360° |
0~360° |
0~360° |
Mustergröße |
Φ≤90mm H≤20mm |
Φ≤90mm H≤20mm |
Φ≤90mm H≤20mm |
Φ≤90mm H≤20mm |
X-Ystadiums-Bewegen |
15×15mm |
15×15mm |
25×25um |
25×25um |
Stoßdämpfender Entwurf |
Frühlings-Suspendierung |
Frühlings-Suspendierung Metall, das Kasten abschirmt |
Frühlings-Suspendierung Metall, das Kasten abschirmt |
- |
Optisches Syestem |
Ziel 4x Entschließung 2.5um |
Ziel 4x Entschließung 2.5um |
Ziel 10x Entschließung 1um |
Okular 10x Unendlichkeits-Plan LWD APO 5x10x20x50x 5.0M Digital Camera 10" LCD-Monitor, mit dem Messen Beleuchtung LED Kohler Grobe u. feine koaxialfokussierung |
Ertrag |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
USB2.0/3.0 |
Software |
Gewinn XP/7/8/10 |
Gewinn XP/7/8/10 |
Gewinn XP/7/8/10 |
Gewinn XP/7/8/10 |