Rasterkraftmikroskop der Grundstufe

• Grundstufe, separates Controller- und Hauptkörperdesign, mit Kontaktmodus, Tippmodus, 4x-Objektiv
• Die Abtastsonde und der Probentisch sind integriert und die Entstörungsfähigkeit ist stark
• 2. Präzisions-Laser- und Sondenpositioniergerät, es ist einfach und bequem, die Sonde auszutauschen und den Punkt einzustellen;
• Optische Positionierung der 4-fachen Objektivlinse, keine Fokussierung erforderlich, Echtzeitbeobachtung und Positionierung des Abtastbereichs der Sondenprobe
• Die stoßfeste Methode der Federaufhängung ist einfach und praktisch und verfügt über eine starke Entstörungsfähigkeit
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• ◆ Der Lasererkennungskopf und der Probenscantisch sind integriert, die Struktur ist sehr stabil und die Entstörung ist stark

  ◆ Präzisions-Sondenpositionierungsvorrichtung, Laserpunkt-Ausrichtungseinstellung ist sehr einfach

• ◆ Die einachsige Antriebsprobe nähert sich automatisch vertikal der Sonde, sodass die Nadelspitze senkrecht zum Probenscan steht

  ◆ Die intelligente Nadelvorschubmethode der motorgesteuerten, unter Druck stehenden, piezoelektrischen Keramik-Automatikerkennung schützt die Sonde und die Probe

• ◆ Automatische optische Positionierung, keine Fokussierung erforderlich, Echtzeitbeobachtung und Positionierung des Abtastbereichs der Sondenprobe

  ◆ Federaufhängung stoßfeste Methode, einfach und praktisch, gute stoßfeste Wirkung

  ◆ Metallgeschirmte Schallschutzbox, eingebauter hochpräziser Temperatur- und Feuchtigkeitssensor, Echtzeitüberwachung der Arbeitsumgebung

• ◆ Integrierter Scanner-Editor für nichtlineare Korrekturen, Charakterisierung im Nanometerbereich und Messgenauigkeit besser als 98 %

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• Spezifikation	A62.4500	A622.4501	A62.4503	A62.4505
  Arbeitsmodus	Klopfmodus [Optional] Kontaktmodus Reibungsmodus Phasenmodus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus	Kontaktmodus Klopfmodus [Optional] Reibungsmodus Phasenmodus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus	Kontaktmodus Klopfmodus [Optional] Reibungsmodus Phasenmodus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus	Kontaktmodus Klopfmodus [Optional] Reibungsmodus Phasenmodus Magnetischer Modus Elektrostatischer Modus
  Aktuelle Spektrumskurve	RMS-Z-Kurve [Optional] FZ-Kraftkurve	RMS-Z-Kurve FZ-Kraftkurve	RMS-Z-Kurve FZ-Kraftkurve	RMS-Z-Kurve FZ-Kraftkurve
  XY-Scanbereich	20 × 20 um	20 × 20 um	50 × 50 um	50 × 50 um
  XY-Scanauflösung	0,2 nm	0,2 nm	0,2 nm	0,2 nm
  Z-Scanbereich	2,5 um	2,5 um	5um	5um
  Y Scanauflösung	0,05 nm	0,05 nm	0,05 nm	0,05 nm
  Scangeschwindigkeit	0,6Hz~30Hz	0,6Hz~30Hz	0,6Hz~30Hz	0,6Hz~30Hz
  Scan-Winkel	0~360°	0~360°	0~360°	0~360°
  Probengröße	Φ≤90mm H≤20mm	Φ≤90mm H≤20mm	Φ≤90mm H≤20mm	Φ≤90mm H≤20mm
  Bewegung des XY-Tisches	15 × 15 mm	15 × 15 mm	25 × 25 um	25 × 25 um
  Stoßdämpfendes Design	Federaufhängung	Federaufhängung Abschirmbox aus Metall	Federaufhängung Abschirmbox aus Metall	-
  Optisches System	4x Ziel Auflösung 2,5 um	4x Ziel Auflösung 2,5 um	10x Ziel Auflösung 1um	Okular 10x Infinity Plan LWD APO 5x10x20x50x 5.0M Digitalkamera 10-Zoll-LCD-Monitor mit Messfunktion LED Kohler-Beleuchtung Koaxiale Grob- und Feinfokussierung
  Ausgabe	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0	USB2.0/3.0
  Software	Gewinne XP/7/8/10	Gewinne XP/7/8/10	Gewinne XP/7/8/10	Gewinne XP/7/8/10

• Mikroskop	Optisches Mikroskop	Elektronenmikroskop	Rastersondenmikroskop
  Max. Auflösung (um)	0,18	0,00011	0,00008
  Anmerkung	Ölimmersion 1500x	Imaging von Diamant-Kohlenstoffatomen	Abbildung graphitischer Kohlenstoffatome höherer Ordnung

• Sonden-Proben-Wechselwirkung	Signal messen	Information
  Macht	Elektrostatische Kraft	Form
  Tunnelstrom	Aktuell	Form, Leitfähigkeit
  Magnetkraft	Phase	Magnetische Struktur
  Elektrostatische Kraft	Phase	Ladungsverteilung

• 	Auflösung	Arbeitsbedingung	Arbeitstemperatur	Beschädigung der Probe	Inspektionstiefe
  SPM	Atomebene 0,1 nm	Normal, Flüssigkeit, Vakuum	Raum- oder Niedrigtemperatur	Keiner	1~2 Atomebene
  TEM	Punkt 0,3 ~ 0,5 nm Gitter 0,1 ~ 0,2 nm	Hochvakuum	Raumtemperatur	Klein	Normalerweise <100nm
  SEM	6-10nm	Hochvakuum	Raumtemperatur	Klein	10mm @10x 1um @10000x
  FIM	Atomebene 0,1 nm	Super-Hochvakuum	30~80K	Schaden	Atomdicke

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