◆ Der Lasererkennungskopf und der Probenscantisch sind integriert, die Struktur ist sehr stabil und die Entstörung ist stark
◆ Präzisions-Sondenpositionierungsvorrichtung, Laserpunkt-Ausrichtungseinstellung ist sehr einfach
◆ Die einachsige Antriebsprobe nähert sich automatisch vertikal der Sonde, sodass die Nadelspitze senkrecht zum Probenscan steht
◆ Die intelligente Nadelvorschubmethode der motorgesteuerten, unter Druck stehenden, piezoelektrischen Keramik-Automatikerkennung schützt die Sonde und die Probe
◆ Automatische optische Positionierung, keine Fokussierung erforderlich, Echtzeitbeobachtung und Positionierung des Abtastbereichs der Sondenprobe
◆ Federaufhängung stoßfeste Methode, einfach und praktisch, gute stoßfeste Wirkung
◆ Metallgeschirmte Schallschutzbox, eingebauter hochpräziser Temperatur- und Feuchtigkeitssensor, Echtzeitüberwachung der Arbeitsumgebung
◆ Integrierter Scanner-Editor für nichtlineare Korrekturen, Nanometer-Charakterisierung und Messgenauigkeit besser als 98