◆Miniaturisierter und abnehmbarer Entwurf, sehr einfach zu tragen und Klassenzimmerunterrichten
◆Der Entdeckungskopf und das Beispielscannenstadium werden integriert, ist die Struktur sehr stabil, und das Entstörungs ist stark
◆Die Einzelachsen-Antriebsprobe nähert automatisch sich der Sonde vertikal, damit das Nadelspitzen zum Beispielscan senkrecht ist
◆Die Fütterungsmethode der intelligenten Nadel der Motor-kontrollierten unter Druck gesetzten piezoelektrischen keramischen automatischen Entdeckung schützt die Sonde und die Probe
◆Seiten-CCD-Beobachtungssystem, Realzeitbeobachtung des Sondennadel-Einfügungszustandes und Positionierung des Sondenbeispielüberprüfungsbereichs
◆Stoßsicherer Methoden-, einfacher und praktischer, guterstoßsicherer Effekt der Frühlingssuspendierung
◆Integrierter Korrekturbenutzerherausgeber des Scanners nichtlinearer, Nanometerkennzeichnung und Maßgenauigkeit besser als 98%
A61.4510 | |
Arbeits-Modus | Constant Height Mode Constant Current Mode |
Gegenwärtige Spektrum-Kurve | I-V Curve Gegenwärtig-Abstands-Kurve |
X-Yarbeitsbereich | 5×5um |
X-Yscan-Entschließung | 0.05nm |
Z-Arbeitsbereich | 1um |
Y-Scan-Entschließung | 0.01nm |
Scangeschwindigkeit | 0.1Hz~62Hz |
Scan-Winkel | 0~360° |
Mustergröße | Φ≤68mm H≤20mm |
X-Ystadiums-Bewegen | 15×15mm |
Stoßdämpfender Entwurf | Frühlings-Suspendierung |
Optisches Syestem | ununterbrochenes lautes Summen 1~500x |
Ertrag | USB2.0/3.0 |
Software | Gewinn XP/7/8/10 |
Mikroskop | Optisches Mikroskop | Elektronenmikroskop | Überprüfungssonden-Mikroskop |
Max Resolution (um) | 0,18 | 0,00011 | 0,00008 |
Anmerkung | Ölkapselungs-1500x | Darstellungsdiamant-Kohlenstoffatome | Darstellungshöherwertig Graphitkohlenstoffatome |
Sonde-Proben-Interaktion | Maß-Signal | Informationen |
Kraft | Elektrostatische Kraft | Form |
Tunnel-Strom | Gegenwärtig | Form, Leitfähigkeit |
Magnetische Kraft | Phase | Magnetische Struktur |
Elektrostatische Kraft | Phase | Ladungsverteilung |
Entschließung | Arbeitsbedingung | Arbeits-Temperation | Zu probierendes Damge | Inspektions-Tiefe | |
SPM | Atom Level 0.1nm | Normal, flüssig, Vakuum | Raum oder niedriges Temperation | Kein | 1~2 Atom Level |
TEM | Punkt 0.3~0.5nm Gitter 0.1~0.2nm |
Hochvakuum | Raum Temperation | Klein | Normalerweise <100nm> |
SEM | 6-10nm | Hochvakuum | Raum Temperation | Klein | 10mm @10x 1um @10000x |
FIM | Atom Level 0.1nm | Superhochvakuum | 30~80K | Damge | Atom Thickness |