| A63.7080, A63.7081 Software-Hauptfunktion | ||
| Hochspannungsintegrierte Inbetriebnahme | Automatisches Ein-/Ausschalten des Filaments | Mögliche Schichtregulierung |
| Helligkeitsanpassung | Elektrische bis zentrale Verstellung | Automatische Helligkeit |
| Kontrasteinstellung | Objektiveinstellung | Autofokus |
| Vergrößerungseinstellung | Objektive Entmagnetisierung | Automatische Beseitigung von Astigmatismus |
| Ausgewählter Bereichsscanmodus | Elektrische Rotationsverstellung | Verwaltung von Mikroskopparametern |
| Punktscanmodus | Einstellung der Elektronenstrahlverschiebung | Echtzeitanzeige der Scanfeldgröße |
| Zeilenscanmodus | Einstellung der Neigung des Elektronenstrahls | Einstellung der Pistolenlinse |
| Oberflächenscannen | Anpassung der Scangeschwindigkeit | Mehrkanaleingang |
| Hochspannungsüberwachung | Schwingenzentrierung | Linealmessung |
| SEM | A63.7069 A63.7069-L A63.7069-LV |
A63.7080 A63.7080-L |
A63.7081 |
| Auflösung | 3nm@30KV(SE) 6 nm bei 30 kV (BSE) |
1,5 nm bei 30 kV (SE) 3 nm bei 30 kV (BSE) |
1,0 nm bei 30 kV (SE) 3,0 nm bei 1 kV (SE) 2,5 nm bei 30 kV (BSE) |
| Vergrößerung | 1x~450000x,Negative wahre Vergrößerung | 1x ~ 600.000x, negative echte Vergrößerung | 1x ~ 3000000x negative echte Vergrößerung |
| Elektronenkanone | Vorzentrierte Wolfram-Filamentkartusche | Schottky-Feldemissionskanone | Schottky-Feldemissionskanone |
| Stromspannung | Beschleunigungsspannung 0,2~30 kV, stufenlos einstellbar, Einstellschritt 100 V bei 0–10 kV, 1 kV bei 10–30 kV | ||
| Schnellansicht | Eine Tastenfunktion für die Schnellansicht von Bildern | N / A | N / A |
| Linsensystem | Dreistufige elektromagnetische konische Linse | Mehrstufige elektromagnetische konische Linse | |
| Öffnung | 3 Molybdän-Objektivöffnungen, außerhalb des Vakuumsystems einstellbar, keine Notwendigkeit, das Objektiv zu zerlegen, um die Blende zu ändern | ||
| Vakuumsystem | 1 Turbomolekularpumpe 1 mechanische Pumpe Probenraumvakuum>2,6E-3Pa Vakuum im Elektronenkanonenraum > 2,6E-3Pa Vollautomatische Vakuumsteuerung Vakuum-Verriegelungsfunktion Optionales Modell: A63.7069-LV 1 Turbomolekularpumpe 2Mechanische Pumpen Probenraumvakuum>2,6E-3Pa Vakuum im Elektronenkanonenraum > 2,6E-3Pa Vollautomatische Vakuumsteuerung Vakuum-Verriegelungsfunktion Niedriges VakuumBereich 10–270 Pa für schnelles Umschalten in 90 Sekunden bei BSE (LV) |
1 Ionenpumpenset 1 Turbomolekularpumpe 1 mechanische Pumpe Probenraumvakuum>6E-4Pa Vakuum im Elektronenkanonenraum > 2E-7 Pa Vollautomatische Vakuumsteuerung Vakuum-Verriegelungsfunktion |
1 Sputter-Ionenpumpe 1 Getter-Ionenverbindungspumpe 1 Turbomolekularpumpe 1 mechanische Pumpe Probenraumvakuum>6E-4Pa Vakuum im Elektronenkanonenraum > 2E-7 Pa Vollautomatische Vakuumsteuerung Vakuum-Verriegelungsfunktion |
| Detektor | SE: Hochvakuum-Sekundärelektronendetektor (mit Detektorschutz) | SE: Hochvakuum-Sekundärelektronendetektor (mit Detektorschutz) | SE: Hochvakuum-Sekundärelektronendetektor (mit Detektorschutz) |
| BSE: Halbleiter-4-Segmentierung Rückstreudetektor |
Optional | Optional | |
| Optionales Modell: A63.7069-LV BSE(LV): Halbleiter-4-Segmentierung Rückstreudetektor |
|||
| CCD:Infrarot-CCD-Kamera | CCD:Infrarot-CCD-Kamera | CCD:Infrarot-CCD-Kamera | |
| Port erweitern | 2 Erweiterungsanschlüsse am Probenraum für EDS, BSD, WDS usw. |
4 Erweiterungsanschlüsse am Probenraum für BSE, EDS, BSD, WDS usw. |
4 Erweiterungsanschlüsse am Probenraum für BSE, EDS, BSD, WDS usw. |
| Probenbühne | 5-Achsen-Bühne, 4Auto+1HandbuchKontrolle Reisebereich: X=70mm, Y=50mm, Z=45mm, R=360°, T=-5°~+90° (manuell) Berühren Sie die Alarm- und Stoppfunktion Optionales Modell: A63.7069-L5-Achsen-Auto-Großbühne |
5 AchsenAuto MitteBühne Reisebereich: X=80mm, Y=50mm, Z=30mm, R=360°, T=-5°~+70° Berühren Sie die Alarm- und Stoppfunktion Optionales Modell: A63.7080-L5 AchsenAuto GroßBühne |
5 AchsenAuto GroßBühne Reisebereich: X=150mm, Y=150mm, Z=60mm, R=360°, T=-5°~+70° Berühren Sie die Alarm- und Stoppfunktion |
| Max-Probe | Durchmesser: 175 mm, Höhe: 35 mm | Durchmesser 175 mm, Höhe 20 mm | Durchmesser: 340 mm, Höhe: 50 mm |
| Bildsystem | Echtes Standbild, maximale Auflösung 4096 x 4096 Pixel, Bilddateiformat: BMP (Standard), GIF, JPG, PNG, TIF |
Echtes Standbild, maximale Auflösung 16384 x 16384 Pixel, Bilddateiformat: TIF (Standard), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Digitales .AVI-Video automatisch aufzeichnen |
Echtes Standbild, maximale Auflösung 16384 x 16384 Pixel, Bilddateiformat: TIF (Standard), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Digitales .AVI-Video automatisch aufzeichnen |
| Computer & Software | PC-Workstation Win 10-System, mit professioneller Bildanalysesoftware zur vollständigen Steuerung des gesamten SEM-Mikroskopbetriebs, Computerspezifikation nicht weniger als Inter I5 3,2 GHz, 4G-Speicher, 24-Zoll-IPS-LCD-Monitor, 500G-Festplatte, Maus, Tastatur | ||
| Fotoanzeige | Die Bildebene ist reichhaltig und sorgfältig und zeigt Echtzeitvergrößerung, Lineal, Spannung und Graukurve an | ||
| Dimension & Gewicht |
Mikroskopkörper 800x800x1850mm Arbeitstisch 1340x850x740mm Gesamtgewicht 400 kg |
Mikroskopkörper 800x800x1480mm Arbeitstisch 1340x850x740mm Gesamtgewicht 450 kg |
Mikroskopkörper 1000x1000x1730mm Arbeitstisch 1330x850x740mm Gesamtgewicht 550 kg |
| Optionales Zubehör | |||
| Optionales Zubehör | A50.7002EDS Energiedispersives Röntgenspektrometer A50.7011Ionensputtern-Beschichter |
A50.7001BSE-Rückstreuelektronendetektor A50.7002EDS Energiedispersives Röntgenspektrometer A50.7011Ionensputtern-Beschichter A50.7030Motorisiertes Bedienfeld |
A50.7001BSE-Rückstreuelektronendetektor A50.7002EDS Energiedispersives Röntgenspektrometer A50.7011Ionensputtern-Beschichter A50.7030Motorisiertes Bedienfeld |
| A50.7001 | BSE-Detektor | Halbleiter-Rückstreudetektor mit vier Segmenten; Erhältlich in den Inhaltsstoffen A+B, Morphologie-Info AB; Verfügbare Probenbeobachtung ohne Goldzerstäubung; Verfügbar in: Beobachten Sie Verunreinigungen und Verteilung direkt auf der Graustufenkarte. |
| A50.7002 | EDS (Röntgendetektor) | Fenster aus Siliziumnitrid (Si3N4) zur Optimierung der Röntgentransmission bei niedriger Energie für die Analyse leichter Elemente; Hervorragende Auflösung und ihre fortschrittliche rauscharme Elektronik sorgen für eine hervorragende Durchsatzleistung; Der geringe Platzbedarf bietet Flexibilität, um ideale Geometrie- und Aata-Sammelbedingungen sicherzustellen; Die Detektoren enthalten einen 30 mm2 großen Chip. |
| A50.7003 | EBSD (Electron Beam Backscattered Diffraction) | Der Benutzer kann die Kristallorientierung, die Kristallphase und die Mikrotextur von Materialien sowie die damit verbundene Materialleistung usw. analysieren. automatische Optimierung der EBSD-Kameraeinstellungen Führen Sie während der Datenerfassung eine interaktive Echtzeitanalyse durch, um maximale Informationen zu erhalten Alle Daten wurden mit einem Zeitstempel versehen, der jederzeit eingesehen werden kann hohe Auflösung 1392 x 1040 x 12 Scan- und Indexgeschwindigkeit: 198 Punkte/Sek., mit Ni als Standard, unter der Bedingung von 2~5 nA kann eine Indexrate von ≥99 % gewährleistet werden; Funktioniert gut bei niedrigem Strahlstrom und niedriger Spannung von 5 kV bei 100 pA Orientierungsmessgenauigkeit: Besser als 0,1 Grad Verwendung des Triplex-Indexsystems: Sie müssen sich nicht auf die Definition einzelner Bänder verlassen, einfache Indizierung bei schlechter Musterqualität Spezielle Datenbank: EBSD-Spezialdatenbank, erhalten durch Elektronenbeugung: >400 Phasenstruktur Indexfähigkeit: Es kann alle Kristallmaterialien von 7 Kristallsystemen automatisch indizieren. Zu den erweiterten Optionen gehören die Berechnung der elastischen Steifigkeit (Elastic Stiffness), des Taylor-Faktors (Taylor), des Schmidt-Faktors (Schmid) usw. |
| A50.7010 | Beschichtungsmaschine | Glasschutzschale: ∮250 mm; 340 mm hoch; Glasverarbeitungskammer: ∮88mm; 140 mm hoch, ∮88 mm; 57 mm hoch; Probentischgröße: ∮40 mm (maximal); Vakuumsystem: Molekülpumpe und mechanische Pumpe; Vakuumerkennung: Pirani Gage; Vakuum: besser als 2 x 10-3 Pa; Vakuumschutz: 20 Pa mit Mikro-Aufblasventil; Probenbewegung: Ebenenrotation, Neigungspräzession. |
| A50.7011 | Ionensputtern-Beschichter | Glasverarbeitungskammer: ∮100 mm; 130 mm hoch; Größe des Probentisches: ∮40 mm (hält 6 Probenbecher); Goldene Zielgröße: ∮58 mm * 0,12 mm (Dicke); Vakuumerkennung: Pirani Gage; Vakuumschutz: 20 Pa mit Mikro-Aufblasventil; Mittleres Gas: Argon oder Luft mit speziellem Argongas-Lufteinlass und Gasregulierung im Mikromaßstab. |
| A50.7012 | Argon-Ionen-Sputter-Beschichter | Die Probe wurde unter Hochvakuum mit Kohlenstoff und Gold plattiert; Drehbarer Probentisch, gleichmäßige Beschichtung, Partikelgröße ca. 3–5 nm; Keine Auswahl des Zielmaterials, keine Beschädigung der Proben; Die Funktionen der Ionenreinigung und Ionenverdünnung können realisiert werden. |
| A50.7013 | Kritischer Punkttrockner | Innendurchmesser: 82 mm, Innenlänge: 82 mm; Druckbereich: 0–2000 psi; Temperaturbereich: 0°-50° C (32°-122° F) |
| A50.7014 | Elektronenstrahllithographie | Basierend auf dem Rasterelektronenmikroskop wurde ein neuartiges Nano-Belichtungssystem entwickelt; Die Modifikation hat alle SEM-Funktionen für die Erstellung von Bildern mit Linienbreite im Nanomaßstab beibehalten; Das modifizierte Ebl-System wird häufig in mikroelektronischen Geräten, optoelektronischen Geräten, Quantengeräten und in der Forschung und Entwicklung von Mikroelektroniksystemen eingesetzt. |
| A63.7080, A63.7081 Standard-Verbrauchsmaterial-Outfit | |||
| 1 | Feldemissionsfilament | Im Mikroskop installiert | 1 Stk |
| 2 | Musterbecher | Durchmesser: 13 mm | 5 Stk |
| 3 | Musterbecher | Durchmesser: 32 mm | 5 Stk |
| 4 | Doppelseitiges leitfähiges Kohlenstoffband | 6mm | 1 Paket |
| 5 | Vakuumfett | 10 Stk | |
| 6 | Haarloses Tuch | 1 Tube | |
| 7 | Polierpaste | 1 Stk | |
| 8 | Musterbox | 2 Taschen | |
| 9 | Wattestäbchen | 1 Stk | |
| 10 | Ölnebelfilter | 1 Stk | |
| A63.7080, A63.7081 Standard-Werkzeug- und Teileausstattung | |||
| 1 | Innensechskantschlüssel | 1,5 mm ~ 10 mm | 1 Satz |
| 2 | Pinzette | Länge 100–120 mm | 1 Stk |
| 3 | Schlitzschraubendreher | 2*50mm, 2*125mm | 2 Stk |
| 4 | Kreuzschraubendreher | 2*125mm | 1 Stk |
| 5 | Entlüftungsrohr reinigen | Durchmesser 10/6,5 mm (Außendurchmesser/Innendurchmesser). | 5m |
| 6 | Druckminderventil entlüften | Ausgangsdruck 0–0,6 MPa | 1 Stk |
| 7 | Interne Backstromversorgung | 0-3A Gleichstrom | 2 Stk |
| 8 | USV-Stromversorgung | 10kVA | 2 Stk |
| Rasterelektronenmikroskop-Probenvorbereitungsgerät | ||