| A63.7080, A63.7081 Software Hauptaufgabe | ||
| Hochspannungsintegrierte Betriebsführung | Automatische Glühlampe eingeschaltet / ausschaltet | Potenzielle Schichtregelung |
| Einstellung der Helligkeit | Elektrische Anpassung an die Zentrale | Automatische Helligkeit |
| Anpassung des Kontrastes | Einstellung der Objektive | Autofokussierung |
| Vergrößerungsanpassung | Objektive Entgussung | Automatische Eliminierung des Astigmatismus |
| Ausgewählter Bereichsscannermodus | Elektrische Drehregelung | Verwaltung von Mikroskopparametern |
| Punktescanning-Modus | Anpassung der Elektronenstrahlverschiebung | Echtzeitdarstellung der Scanfeldgröße |
| Linienscanning-Modus | Elektronenstrahl Neigungsanpassung | Einstellung der Pistole |
| Oberflächenscanning | Einstellung der Scangeschwindigkeit | Mehrkanal-Eingang |
| Überwachung der Hochspannungsleistung | Schwingzentrierung | Messung der Linie |
| SEM | A63.7069 A63.7069-L Die Kommission wird die folgenden Maßnahmen ergreifen: |
A63.7080 A63.7080-L |
A63.7081 |
| Entschließung | 3nm@30KV (SE) 6nm@30KV (BSE) |
1.5nm@30KV ((SE) 3nm@30KV (BSE) |
1.0nm@30KV(SE) 3.0nm@1KV ((SE) 2.5nm@30KV (BSE) |
| Vergrößerung | 1x bis 450000x,Negative wahre Vergrößerung | 1x~600000x, negative wahre Vergrößerung | 1x ~ 3000000x Negative wahre Vergrößerung |
| Elektronenpistole | Vorzentrierte Wolframfilamentpatrone | Schottky-Feld-Emissionspistole | Schottky-Feld-Emissionspistole |
| Spannung | Beschleunigungsspannung 0.2- Ich weiß.30 kV, kontinuierlich einstellbar, Einstellschritt 100V@0-10Kv, 1KV@10-30KV | ||
| Schnelle Ansicht | Eine Schlüssel-Schnellansicht-Bildfunktion | N/A | N/A |
| Linsensystem | Drei-Ebenen-elektromagnetische Spitzenlinse | Mehrstufige elektromagnetische Spitzenlinsen | |
| Öffnung | 3 Molybdän Objektivöffnungen, außerhalb des Vakuumsystems verstellbar, keine Notwendigkeit, Objektiv zu demontieren, um die Öffnung zu ändern | ||
| Vakuumsystem | 1 Turbomolekulare Pumpe 1 Mechanische Pumpe Probenraum Vakuum>2,6E-3Pa Elektronenpistolenraum Vakuum> 2,6E-3Pa Voll automatische Vakuumsteuerung Funktion für die Vakuumverriegelung Zusätzliches Modell: A63.7069-LV 1 Turbomolekulare Pumpe 2Mechanische Pumpen Probenraum Vakuum>2,6E-3Pa Elektronenpistolenraum Vakuum> 2,6E-3Pa Voll automatische Vakuumsteuerung Funktion für die Vakuumverriegelung Niedriges VakuumBereich 10 ~ 270 Pa für Schnellschalter in 90 Sekunden für BSE ((LV) |
1 Ionenpumpen-Set 1 Turbomolekulare Pumpe 1 Mechanische Pumpe Probenraum Vakuum> 6E-4Pa Elektronenpistolenraum Vakuum>2E-7 Pa Voll automatische Vakuumsteuerung Funktion für die Vakuumverriegelung |
1 Sputterionenpumpe 1 Getter-Ionenverbindungspumpe 1 Turbomolekulare Pumpe 1 Mechanische Pumpe Probenraum Vakuum> 6E-4Pa Elektronenpistolenraum Vakuum>2E-7 Pa Voll automatische Vakuumsteuerung Funktion für die Vakuumverriegelung |
| Detektor | SE: Sekundärelektrondetektor mit hohem Vakuum (mit Detektorschutz) | SE: Sekundärelektrondetektor mit hohem Vakuum (mit Detektorschutz) | SE: Sekundärelektrondetektor mit hohem Vakuum (mit Detektorschutz) |
| BSE: Halbleiter 4 Segmentierung Rückstreuungsdetektor |
Zusätzlich | Zusätzlich | |
| Zusätzliches Modell: A63.7069-LV BSE (LV): Halbleiter 4 Segmentierung Rückstreuungsdetektor |
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| CCD:Infrarot-CCD-Kamera | CCD:Infrarot-CCD-Kamera | CCD:Infrarot-CCD-Kamera | |
| Port erweitern | 2 Verlängerung der Ports auf den Probenraum für EDS, BSD, WDS usw. |
4 Verlängerung der Ports auf den Probenraum für BSE, EDS, BSD, WDS usw. |
4 Verlängerung der Ports auf den Probenraum für BSE, EDS, BSD, WDS usw. |
| Probeentwicklung | 5 Achsen Stufe, 4Auto+ 1HandbuchKontrolle Reisebereich: X = 70 mm, Y = 50 mm, Z = 45 mm, R=360°, T=-5°~+90° (Handbuch) Berühren Sie die Alarmierungs- und Stoppfunktion Optionales Modell: A63.7069-L5 Achsen Auto Große Bühne |
5 AchsenAuto MittlererBühne Reisebereich: X = 80 mm, Y = 50 mm, Z = 30 mm, R=360°, T=-5°~+70° Berühren Sie die Alarmierungs- und Stoppfunktion Optionales Modell: A63.7080-L5 AchsenAuto GroßeBühne |
5 AchsenAuto GroßeBühne Reisebereich: X = 150 mm, Y = 150 mm, Z = 60 mm, R=360°, T=-5°~+70° Berühren Sie die Alarmierungs- und Stoppfunktion |
| Maximaler Exemplar | Durchmesser 175 mm, Höhe 35 mm | Durchmesser 175 mm, Höhe 20 mm | Durchmesser 340 mm, Höhe 50 mm |
| Bildsystem | Echtes Bild mit maximaler Auflösung 4096 x 4096 Pixel. Bilddateiformat: BMP (Standard), GIF, JPG, PNG, TIF |
Echtes Bild mit maximaler Auflösung 16384 x 16384 Pixel. Bilddateiformat: TIF (Standard), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Autorecord Digital.AVI Video |
Echtes Bild mit maximaler Auflösung 16384 x 16384 Pixel. Bilddateiformat: TIF (Standard), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Autorecord Digital.AVI Video |
| Computer und Software | PC-Arbeitsstation Win 10 System, mit professioneller Bildanalyse-Software zur vollständigen Kontrolle des gesamten SEM-Mikroskopbetriebs, Computer-Spezifikation nicht weniger als Inter I5 3,2 GHz, 4G-Speicher,24" IPS-LCD-Monitor, 500G Festplatte, Maus, Tastatur | ||
| Bildschirm | Das Bildniveau ist reichhaltig und sorgfältig, zeigt in Echtzeit Vergrößerung, Lineal, Spannung, Graukurve | ||
| Abmessung & Gewicht |
Mikroskopkörper 800x800x1850mm Arbeitstisch 1340x850x740mm Gesamtgewicht 400 kg |
Mikroskopkörper 800x800x1480mm Arbeitstisch 1340x850x740mm Gesamtgewicht 450 kg |
Mikroskopkörper 1000x1000x1730 mm Arbeitstisch 1330x850x740mm Gesamtgewicht 550 kg |
| Zusätzliches Zubehör | |||
| Zusätzliches Zubehör | A50. Das ist A50.7002Röntgenstrahlspektrometer mit EDS-Energieverteilung A50. Das ist A50.7011Ionenspritzbehälter |
A50. Das ist A50.7001BSE-Rückstreuende Elektrondetektor A50. Das ist A50.7002Röntgenstrahlspektrometer mit EDS-Energieverteilung A50. Das ist A50.7011Ionenspritzbehälter A50. Das ist A50.7030Motorisierte Steuerung |
A50. Das ist A50.7001BSE-Rückstreuende Elektrondetektor A50. Das ist A50.7002Röntgenstrahlspektrometer mit EDS-Energieverteilung A50. Das ist A50.7011Ionenspritzbehälter A50. Das ist A50.7030Motorisierte Steuerung |
| A50. Das ist A50.7001 | BSE-Detektor | Halbleiter-Vier-Segment-Rückstreuungsdetektor; Erhältlich in Zutaten A+B, Morphologie Info A-B; Verfügbare Probenbeobachtung ohne Spritzen von Gold; Erhältlich in beobachteter Unreinheit und Verteilung direkt von der Graustufenkarte. |
| A50. Das ist A50.7002 | EDS (Röntgenlichtdetektor) | Silikonnitrid (Si3N4) Fenster zur Optimierung der Röntgenstrahlübertragung mit niedriger Energie für die Analyse von Lichtelementen; Ausgezeichnete Auflösung und ihre fortschrittliche geräuscharme Elektronik bieten eine hervorragende Durchsatzleistung; Der kleine Fußabdruck bietet Flexibilität, um die ideale Geometrie und die besten Sammelbedingungen zu gewährleisten. Die Detektoren enthalten einen 30mm2 Chip. |
| A50. Das ist A50.7003 | EBSD (Backscattered Diffraction of Electron Beams) | Der Benutzer könnte die Kristallorientierung, die Kristallphase und die Mikro-Textur von Materialien und die damit verbundene Materialleistung usw. analysieren. automatische Optimierung der EBSD-Kameraeinstellungen während der Datenerhebung eine interaktive Echtzeitanalyse durchführen, um maximale Informationen zu erhalten Alle Daten wurden mit einem Zeittag markiert, der jederzeit eingesehen werden kann. hohe Auflösung 1392 x 1040 x 12 Scan- und Indexgeschwindigkeit: 198 Punkte/Sekunde, mit Ni als Standard, kann unter der Bedingung von 2~5nA die Indexrate ≥99% gewährleisten; Funktioniert gut bei niedrigem Lichtstrom und niedriger Spannung von 5 kV bei 100pA Orientierungsmessgenauigkeit: besser als 0,1 Grad Verwendung des Triplex-Index-Systems: keine Notwendigkeit, sich auf eine einzige Banddefinition zu verlassen, einfache Indexierung schlechter Musterqualität Spezielle Datenbank: Spezielle Datenbank der EBSD, die durch Elektronendiffraktion gewonnen wurde: > 400 Phasenstrukturen Indexfähigkeit: Es kann automatisch alle Kristallmaterialien von 7 Kristallsystemen indexieren. Die erweiterten Optionen umfassen die Berechnung der elastischen Steifheit, des Taylor-Faktors, des Schmidt-Faktors und so weiter. |
| A50. Das ist A50.7010 | Beschichtungsmaschine | Glasschutzhülle: 250 mm; 340 mm hoch; Glasverarbeitungskammer: 88 mm, 140 mm, 88 mm, 57 mm, Probe-Stufengröße: 40 mm (maximal); Vakuumsystem: Molekülpumpe und mechanische Pumpe; Vakuumdetektion: Pirani-Gage; Vakuum:besser als 2 x 10-3 Pa; Vakuumschutz: 20 Pa mit Mikroskala-Ventil; Bewegung der Probe: Rotation der Ebene, Neigung und Präzision. |
| A50. Das ist A50.7011 | Ionenspritzbehälter | Glasverarbeitungskammer: ¥ 100 mm; 130 mm hoch; Probe-Bühnengröße: 40 mm ((Halten Sie 6 Probe-Tassen) Goldene Zielgröße: 58 mm*0,12 mm (Dicke); Vakuumdetektion: Pirani-Gage; Vakuumschutz: 20 Pa mit Mikroskala-Ventil; Mittleres Gas: Argon oder Luft mit Argongas, spezieller Luftdurchgang und Gasregulation im Mikroskala. |
| A50. Das ist A50.7012 | Argon-Ionen-Sputter-Beschichtung | Die Probe wurde mit Kohlenstoff und Gold unter hohem Vakuum beschichtet. Drehbarer Probentafel, einheitliche Beschichtung, Partikelgröße ca. 3-5 nm; Keine Auswahl des Zielmaterials, keine Beschädigung der Proben; Die Funktionen der Ionenreinigung und des Ionverdünnens können realisiert werden. |
| A50. Das ist A50.7013 | Kritischer Punkt Trockner | Innerer Durchmesser: 82 mm, Innenlänge: 82 mm; Druckbereich: 0 bis 2000 psi; Temperaturbereich: 0°-50° C (32°-122° F) |
| A50. Das ist A50.7014 | Elektronenstrahllithographie | Auf der Grundlage eines Scanning-Elektronenmikroskops wurde ein neuartiges Nano-Expositionssystem entwickelt. Die Modifikation hat alle Sem-Funktionen beibehalten, um das Nanoskala-Linienbreitenbild zu erzeugen. Das modifizierte Ebl-System wird in Mikroelektronikgeräten, Optoelektronikgeräten, Quantun-Geräten, Forschung und Entwicklung von Mikroelektroniksystemen eingesetzt. |
| A63.7080, A63.7081 Standardverbrauchsmaterialien | |||
| 1 | Feldemissionsfilament | Im Mikroskop installiert | 1 Stück |
| 2 | Probebebecher | Durchmesser 13 mm | 5 Stück |
| 3 | Probebebecher | Dia.32mm | 5 Stück |
| 4 | Kohlenstoffdoppelseitiges Leitband | 6 mm | 1 Paket |
| 5 | Vakuumfett | 10 Stück | |
| 6 | Felllose Stoffe | 1 Schlauch | |
| 7 | Polsterpaste | 1 Stück | |
| 8 | Musterkasten | 2 Taschen | |
| 9 | Baumwollspülung | 1 Stück | |
| 10 | Ölnebelfilter | 1 Stück | |
| A63.7080, A63.7081 Standardwerkzeuge und Teile | |||
| 1 | Innerer Sechseckenschlüssel | 1.5 mm bis 10 mm | 1 Satz |
| 2 | Zwischenschrauben | Länge 100-120 mm | 1 Stück |
| 3 | Schraubenzieher mit Schlitz | 2*50 mm, 2*125 mm | 2 Stück |
| 4 | Kreuzschraubenzieher | 2*125 mm | 1 Stück |
| 5 | Sauberes Lüftungsrohr | Durchmesser 10/6,5 mm (Außendurchmesser/Innendurchmesser) | 5 m |
| 6 | Ventilationsdruckminderungsventil | Ausgangsdruck 0-0,6 MPa | 1 Stück |
| 7 | Innere Backstromversorgung | 0-3A Gleichstrom | 2 Stück |
| 8 | UPS-Stromversorgung | 10 kVA | 2 Stück |
| Scanning-Elektronenmikroskop-Probevorbereitungsinstrument | ||