| A63.7080, A63.7081 Software-Hauptfunktion | ||
| Integrierte Hochspannungs-Inbetriebnahme | Automatisches Filament an / aus | Potentialverschiebungsregelung |
| Helligkeitseinstellung | Elektrisch auf Zentralverstellung | Automatische Helligkeit |
| Kontrasteinstellung | Objektiveinstellung | Autofokus |
| Vergrößerungseinstellung | Objektive Entmagnetisierung | Automatische Entfernung von Astigmatismus |
| Ausgewählter Bereichsscanmodus | Elektrische Rotationsverstellung | Verwaltung von Mikroskopparametern |
| Punktscanmodus | Einstellung der Elektronenstrahlverschiebung | Echtzeitanzeige der Scanfeldgröße |
| Zeilenscanmodus | Neigungseinstellung des Elektronenstrahls | Pistolenlinseneinstellung |
| Oberflächenabtastung | Anpassung der Scangeschwindigkeit | Mehrkanaleingang |
| Überwachung der Hochspannungsleistung | Schwungzentrierung | Linealmessung |
| SEM | A63.7069 | A63.7080 | A63.7081 |
| Auflösung | 3nm@30KV(SE) 6nm@30KV(BSE) |
1,5 nm bei 30 kV (SE) 3nm@30KV(BSE) |
1,0 nm bei 30 kV (SE) 3,0 nm bei 1 kV (SE) 2,5 nm bei 30 kV (BSE) |
| Vergrößerung | 8x~300000x negative wahre Vergrößerung | 8x~800000x negative echte Vergrößerung | 6- bis 1000000-fache negative wahre Vergrößerung |
| Elektronenkanone | Vorzentrierte Wolfram-Filament-Kartusche | Schottky Field Emission Gun | Schottky Field Emission Gun |
| Stromspannung | Beschleunigungsspannung 0 ~ 30 kV, stufenlos einstellbar, Schrittweite 100 V bei 0–10 kV, 1 kV bei 10–30 kV | ||
| Schnellansicht | One Key Quick View Bildfunktion | N / A | N / A |
| Linsensystem | Dreistufige elektromagnetische konische Linse | Mehrstufige elektromagnetische konische Linse | |
| Öffnung | 3 Molybdän-Objektivöffnungen, einstellbar außerhalb des Vakuumsystems, keine Notwendigkeit, das Objektiv zu zerlegen, um die Blende zu ändern | ||
| Vakuumsystem | 1 Turbo-Molekularpumpe 1 mechanische Pumpe Probenraum-Vakuum > 2,6 E-3 Pa Vakuum im Elektronenkanonenraum > 2,6 E-3 Pa Vollautomatische Vakuumsteuerung Vakuumverriegelungsfunktion Optionales Modell: A63.7069-LV 1 Turbo-Molekularpumpe 2Mechanische Pumpen Probenraum-Vakuum > 2,6 E-3 Pa Vakuum im Elektronenkanonenraum > 2,6 E-3 Pa Vollautomatische Vakuumsteuerung Vakuumverriegelungsfunktion Niedriges VakuumBereich 10~270Pa für schnellen Wechsel in 90 Sekunden für BSE(LV) |
1 Ionenpumpenset 1 Turbo-Molekularpumpe 1 mechanische Pumpe Probenraum-Vakuum>6E-4Pa Vakuum im Elektronenkanonenraum > 2E-7 Pa Vollautomatische Vakuumsteuerung Vakuumverriegelungsfunktion |
1 Sputter-Ionenpumpe 1 Getter-Ionenverbindungspumpe 1 Turbo-Molekularpumpe 1 mechanische Pumpe Probenraum-Vakuum>6E-4Pa Vakuum im Elektronenkanonenraum > 2E-7 Pa Vollautomatische Vakuumsteuerung Vakuumverriegelungsfunktion |
| Detektor | SE: Hochvakuum-Sekundärelektronendetektor (mit Detektorschutz) | SE: Hochvakuum-Sekundärelektronendetektor (mit Detektorschutz) | SE: Hochvakuum-Sekundärelektronendetektor (mit Detektorschutz) |
| BSE: Halbleiter 4 Segmentierung Rückstreudetektor Optionales Modell: A63.7069-LV BSE(LV): Halbleiter 4 Segmentierung Rückstreudetektor |
Optional | Optional | |
| CCD:Infrarot-CCD-Kamera | CCD:Infrarot-CCD-Kamera | CCD:Infrarot-CCD-Kamera | |
| Port erweitern | 2 Erweitern Sie Ports auf Beispielraum für EDS, BSD, WDS usw. |
4 Erweitern Sie Ports auf Beispielraum für BSE, EDS, BSD, WDS usw. |
4 Erweitern Sie Ports auf Beispielraum für BSE, EDS, BSD, WDS usw. |
| Probenstadium | 5-Achsen-Stufe, 4Auto+1HandbuchKontrolle Reisebereich: X=70 mm, Y=50 mm, Z=45 mm, R = 360 °, T = -5 ° ~ + 90 ° (manuell) Berühren Sie die Alarm- und Stoppfunktion |
5 AchsenAuto MitteBühne Reisebereich: X = 80 mm, Y = 50 mm, Z = 30 mm, R=360°, T=-5°~+70° Berühren Sie die Alarm- und Stoppfunktion Optionales Modell: A63.7080-M5 AchsenHandbuchBühne A63.7080-L5 AchsenAuto GroßBühne |
5 AchsenAuto GroßBühne Reisebereich: X = 150 mm, Y = 150 mm, Z = 60 mm, R=360°, T=-5°~+70° Berühren Sie die Alarm- und Stoppfunktion |
| Maximales Exemplar | Durchmesser 175 mm, Höhe 35 mm | Durchmesser 175 mm, Höhe 20 mm | Durchmesser 340 mm, Höhe 50 mm |
| Bildsystem | Echtes Standbild Max. Auflösung 4096 x 4096 Pixel, Bilddateiformat: BMP (Standard), GIF, JPG, PNG, TIF |
Echtes Standbild Max. Auflösung 16384 x 16384 Pixel, Bilddateiformat: TIF (Standard), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Digitales .AVI-Video automatisch aufzeichnen |
Echtes Standbild Max. Auflösung 16384 x 16384 Pixel, Bilddateiformat: TIF (Standard), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Digitales .AVI-Video automatisch aufzeichnen |
| Computer Software | PC Work Station Win 10-System mit professioneller Bildanalysesoftware zur vollständigen Steuerung des gesamten SEM-Mikroskopbetriebs, Computerspezifikation nicht weniger als Inter I5 3,2 GHz, 4-G-Speicher, 24-Zoll-IPS-LCD-Monitor, 500-G-Festplatte, Maus, Tastatur | ||
| Fotoanzeige | Die Bildebene ist reich und akribisch und zeigt Echtzeitvergrößerung, Lineal, Spannung und Graukurve | ||
| Abmessungen & Gewicht |
Mikroskopkörper 800x800x1850mm Arbeitstisch 1340x850x740mm Gesamtgewicht 400 kg |
Mikroskopkörper 800x800x1480mm Arbeitstisch 1340x850x740mm Gesamtgewicht 450 kg |
Mikroskopkörper 1000x1000x1730mm Arbeitstisch 1330x850x740mm Gesamtgewicht 550 kg |
| Optionales Zubehör | |||
| Optionales Zubehör | A50.7002EDS Energiedispersives Röntgenspektrometer A50.7011Ionensputter-Coater |
A50.7001BSE-Rückstreuelektronendetektor A50.7002EDS Energiedispersives Röntgenspektrometer A50.7011Ionensputter-Coater A50.7030Bedienfeld motorisieren |
A50.7001BSE-Rückstreuelektronendetektor A50.7002EDS Energiedispersives Röntgenspektrometer A50.7011Ionensputter-Coater A50.7030Bedienfeld motorisieren |
| A50.7001 | BSE-Detektor | Halbleiter-Viersegment-Rückstreuungsdetektor; Erhältlich in den Inhaltsstoffen A+B, Morphologie-Info AB; Verfügbare Probe beobachten, ohne Gold zu sputtern; Verfügbar in Verunreinigung und Verteilung direkt von der Graustufenkarte beobachten. |
| A50.7002 | EDS (Röntgendetektor) | Fenster aus Siliziumnitrid (Si3N4) zur Optimierung der Niedrigenergie-Röntgenstrahlübertragung für die Analyse leichter Elemente; Hervorragende Auflösung und ihre fortschrittliche rauscharme Elektronik sorgen für eine hervorragende Durchsatzleistung; Der geringe Platzbedarf bietet Flexibilität, um ideale Geometrie- und Aata-Sammelbedingungen zu gewährleisten; Die Detektoren enthalten einen 30 mm2 Chip. |
| A50.7003 | EBSD (Elektronenstrahl-Rückstreubeugung) | Der Benutzer kann die Kristallorientierung, die Kristallphase und die Mikrotextur von Materialien und die Leistung verwandter Materialien usw. analysieren. Automatische Optimierung der EBSD-Kameraeinstellungen Führen Sie während der Datenerfassung eine interaktive Echtzeitanalyse durch, um maximale Informationen zu erhalten Alle Daten wurden mit einem Zeitstempel versehen, der jederzeit eingesehen werden kann hohe Auflösung 1392 x 1040 x 12 Scan- und Indexgeschwindigkeit: 198 Punkte / Sek., mit Ni als Standard, unter der Bedingung von 2 ~ 5 nA, kann eine Indexrate von ≥ 99 % sichergestellt werden; funktioniert gut unter der Bedingung eines niedrigen Strahlstroms und einer niedrigen Spannung von 5 kV bei 100 pA Orientierungsmessgenauigkeit: Besser als 0,1 Grad Verwendung des Triplex-Indexsystems: Keine Notwendigkeit, sich auf eine Einzelbanddefinition zu verlassen, einfache Indexierung bei schlechter Musterqualität dedizierte Datenbank: EBSD-Spezialdatenbank, erhalten durch Elektronenbeugung: >400 Phasenstruktur Indexfähigkeit: Es kann automatisch alle Kristallmaterialien von 7 Kristallsystemen indizieren. Die erweiterten Optionen umfassen die Berechnung der elastischen Steifigkeit (Elastic Stiffness), des Taylor-Faktors (Taylor), des Schmidt-Faktors (Schmid) usw. |
| A50.7010 | Beschichtungsmaschine | Glasschutzschale: ∮250mm;340 mm hoch; Glasverarbeitungskammer: ∮88mm;140 mm hoch, ∮88 mm;57 mm hoch; Größe der Probenbühne: ∮40 mm (max.); Vakuumsystem: Molekularpumpe und mechanische Pumpe; Vakuumerkennung: Pirani-Messgerät; Vakuum: besser als 2 x 10-3 Pa; Vakuumschutz: 20 Pa mit Microscale-Aufblasventil; Probenbewegung: Ebenenrotation, Neigungspräzession. |
| A50.7011 | Ionensputter-Coater | Glasverarbeitungskammer: ∮100 mm;130 mm hoch; Größe der Probenbühne: ∮40 mm (für 6 Probenbecher); Goldene Zielgröße: ∮58 mm * 0,12 mm (Dicke); Vakuumerkennung: Pirani-Messgerät; Vakuumschutz: 20 Pa mit Microscale-Aufblasventil; Mittleres Gas: Argon oder Luft mit speziellem Argongas-Lufteinlass und Gasregulierung im Mikromaßstab. |
| A50.7012 | Argon-Ionen-Sputtering-Coater | Die Probe wurde unter Hochvakuum mit Kohlenstoff und Gold plattiert; Drehbarer Probentisch, gleichmäßige Beschichtung, Partikelgröße ca. 3-5 nm; Keine Auswahl des Zielmaterials, keine Beschädigung der Proben; Die Funktionen der Ionenreinigung und Ionenverdünnung können realisiert werden. |
| A50.7013 | Critical-Point-Trockner | Innendurchmesser: 82 mm, Innenlänge: 82 mm; Druckbereich:0-2000psi; Temperaturbereich: 0°-50° C (32°-122° F) |
| A50.7014 | Elektronenstrahllithographie | Basierend auf einem Rasterelektronenmikroskop wurde ein neuartiges Nano-Belichtungssystem entwickelt; Die Modificaton hat alle SEM-Funktionen für die Erstellung von Linienbreitenbildern im Nanomaßstab beibehalten; Das modifizierte Ebl-System wird häufig in mikroelektronischen Geräten, optoelektronischen Geräten, Quanten-Geräten, Forschung und Entwicklung von Mikroelektroniksystemen angewendet. |
| A63.7080, A63.7081 Standardausrüstung für Verbrauchsmaterialien | |||
| 1 | Feldemissionsfaden | Im Mikroskop installiert | 1 Stk |
| 2 | Musterbecher | Durchmesser 13 mm | 5 Stk |
| 3 | Musterbecher | Durchmesser 32 mm | 5 Stk |
| 4 | Kohlenstoff doppelseitiges leitfähiges Klebeband | 6mm | 1 Paket |
| 5 | Vakuumfett | 10 Stk | |
| 6 | Haarloses Tuch | 1 Rohr | |
| 7 | Polierpaste | 1 Stk | |
| 8 | Musterbox | 2 Taschen | |
| 9 | Wattestäbchen | 1 Stk | |
| 10 | Ölnebelfilter | 1 Stk | |
| A63.7080, A63.7081 Standardausrüstung für Werkzeuge und Teile | |||
| 1 | Innensechskantschlüssel | 1,5 mm ~ 10 mm | 1 Satz |
| 2 | Pinzette | Länge 100-120 mm | 1 Stk |
| 3 | Schlitzschraubendreher | 2*50mm, 2*125mm | 2 Stk |
| 4 | Kreuzschraubendreher | 2*125mm | 1 Stk |
| 5 | Entlüftungsrohr reinigen | Durchmesser 10/6,5 mm (Außendurchmesser/Innendurchmesser) | 5m |
| 6 | Druckminderventil entlüften | Ausgangsdruck 0-0,6 MPa | 1 Stk |
| 7 | Interne Backstromversorgung | 0-3A Gleichstrom | 2 Stk |
| 8 | USV-Stromversorgung | 10kVA | 2 Stk |
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